磁場環境下量測

探針台加裝電磁場線圈,建立一個電流可調的磁場環境下,也可加裝一個加熱溫控吸盤同時建立熱環境下做晶圓的電信量測

簡易型（最高1000高斯）：直接將線圈橫至於吸盤下方,如一般的探針台架設

進階版（最高2 Tesla/20000高斯）：將一對高強度的磁場線圈配置在一左一右的軌道上滑行,上下樣品時必須先將磁場往外移開,樣品吸附在吸盤上同時翻轉成垂直向，探針經由顯微鏡視野將探針落在適當的位置,再將高強度的線圈往吸盤的方向夾,先用高斯計量目前的磁場大小確認後就可以開始做電信的量測