四點探針台
四點探針台
使用四點探針台,機台的手臂可快速更換模組式探針頭,探針頭將針尖間距及壓力參數固定,當探頭的探針點在基板上時, 附有內藏彈簧的探針會將四根針同時收縮,在固定的下壓應力使測量的穩定性增加,外搭儀器Keithley 2400 /Keysight 2900可做測量.在製程改進方面只要將V/I這個數值彼此的位置互相比較或跟上一次V/I比較為參考,不需要再乘上一些其它係數做太複雜的演算.可以選購奕葉的軟體使操作簡單化及自動化,適用於半導體、太陽能、OLED、微機電、燃料電池等各式產業。
探針頭規格
- 探針間距：40mil，62.5 mil
- 探針壓力：80g
- 探針材質：BeCu Tungsten Carbide
- 高溫選配：High Temp. 200 ℃
測量用途
- 薄膜偏電阻 Sheet Resistivity
- 體積偏電阻 Volume Resistivity
- 導電率Doping Quality
- 金屬膜厚Metalization Thickness
- P/N極性P/N Typing
- 電流電壓I-V特性 V/I Measurement
其他高階應用種類
- 高阻低電流
- 溫度環境下量測RT~200℃
- 超高溫RT~1200 ℃
- 無氧環境下
- 微小間距最小10 micron
- 大面積尺寸基板1200mm×900mm
- 儀器結合軟體
- 自動移位測量
